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    微电子行业过滤解决方案
    来源:微电子  发布时间:2021-07-16   浏览:218次  
    过滤减少了空气中的分子污染风险
    需要严格控制微粒和空气分子污染(AMC),以实现高产量、低废品率的半导体制造。
    AMC的来源包括:
    • 化学废气
    • 来自其他行业和工艺的废气
    • 汽车尾气
    • 季节性因素
    AMC造成的故障通常分为:
    • 机械效应包括冷却气流阻塞、移动或光学部件干扰以及表面变形。
    • 化学影响包括含硫和含氯盐的灰尘造成电气部件。
    • 电效应包括阻抗变化和电子电路导体桥接。
     
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